http://warm-ir-factory.com/fr/tags/tableau/ Recent content in Tableau on The Warm IR Heating Factory Hugo fr Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/fr/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/fr/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Array de chauffage infrarouge modulaire"></p> <p>Dans le domaine de la lithographie, les procédés de chauffage doux et de chauffage intense ne sont pas simplement des étapes à suivre ; ce sont plutôt des obligations auxquelles il faut se conformer. Une variation de 2 °C dans la température du photorésiste peut entraîner des variations significatives dans les dimensions critiques des composants, sur quelques nanomètres. Une seule particule générée lors du chauffage peut détruire une galette de 300 mm. Nous avons donc conçu un réseau de chauffage infrarouge modulaire pour tenir compte de ces réalités.</p>