http://warm-ir-factory.com/he/tags/%D7%9C%D7%97%D7%95%D7%AA/ Recent content in לחות on The Warm IR Heating Factory Hugo he Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="נורת חימום להסרת לחות מהוופרים"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, לחות בחומר הפוטורזיסט או באוקסיד שעל הוופר אינה עניין של מה בכך. היא משבשת את הבקרה על הטמפרטורה, מפריעה לתהליך החשיפה, וגורמת לכך שהממדים החיוניים של הוופר יהיו לא יציבים. אם הנורה שמשמשת לחימום אינה מסוגלת לשמור על טמפרטורה ועל רמת ניקיון מספקת, השינויים האלו ימשיכו גם במהלך תהליך החימום, וישפיעו על הוופר גם בשלב האריזה שלו.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> בנינו את הנורה הזו על בסיס רכיבי הלוגן בגלי אינפרא-אדום קצרים, המונחים במעטפות קוורץ בעלות טוהר גבוה. כך ניתן לקבל חימום מהיר וממוקד, עם שליטה מדויקת בספקטרום האור. האחידות של הטמפרטורה באזור המואר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והשגרתיות של התהליך נשמרת בטווח של ±0.5°C לאורך אלפי מחזורי חימום. המערכת פועלת בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, ואנו מוודאים שאין יצירה של חלקיקים זרים באמצעות מעקב בזמן אמת. האור שנוצר נשאר יציב לאורך 5,000 שעות, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5% במהלך פעולה מתמשכת.</p>