http://warm-ir-factory.com/he/tags/%D7%9E%D7%95%D7%93%D7%95%D7%9C%D7%A8%D7%99/ Recent content in מודולרי on The Warm IR Heating Factory Hugo he Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מערך חימום באינפרא אדום מודולרי"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, תהליכי החימום הרך והקשה אינם רק “שלבים” בתהליך – אלו הם התחייבויות שיש לקיים. שינוי של 2 מעלות צלזיוס בטמפרטורת הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי בממדים החשובים של השבב ברמת ננומטרים. חלקיק אחד בלבד שנוצר במהלך החימום יכול להרוס שבב בגודל 300 ממ. לכן, פיתחנו מערך חימום באינפרא-אדום מודולרי שמתאים למציאות הזו.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים במקורות אור באינפרא-אדום במערך מודולרי, כך שעוצמת החימום נשלטת באופן מדויק בכל אזור, ולא באופן ממוצע על פני שטח גדול. התוצאה: אחידות בטמפרטורה של ±0.1 מעלות צלזיוס לאורך כל תהליך הייצור, עם מדידה באמצעות תרמוקפלים ובדיקה באמצעות חיישנים שמתקנים את הנתונים לפי ערכי ההפרשה התרמית. זמן התגובה הוא פחות משנייה, כך שאין שינויים פתאומיים בטמפרטורה כשמשנים את ההגדרות. הציוד מתאים לתנאי חדר נקי מסוג Class 1 – מעטפת אטומה, חומרים עם פליטה נמוכה של גזים, ללא חוטים חשופים. כמות החלקיקים שנוצרים נשארת נמוכה, והאמינות של התהליך נשמרת בזכות שליטה בלולאה סגורה וגאומטריה קבועה של מקורות האור.</p>