http://warm-ir-factory.com/he/tags/%D7%9E%D7%97%D7%95%D7%9C%D7%A7-%D7%9C%D7%90%D7%96%D7%95%D7%A8%D7%99%D7%9D/ Recent content in מחולק לאזורים on The Warm IR Heating Factory Hugo he Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="חימום ממוקד למפעלי ייצור שבבים מתקדמים"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, הטמפרטורה אינה סתם פרמטר נוסף – היא למעשה חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו. שינוי של 2°C במהלך תהליך החימום עלול לגרום לשינוי בעובי הפוטורזיסט; שינוי קל בטמפרטורה במהלך תהליך החימום האינטנסיבי עלול לפגוע בשליטה בממדים הקריטיים של הוופר. הוופרים נמצאים בתנועה מתמדת, התנורים לא עוצרים לרגע, ואין שום סיבה להמתין – המערכת חייבת לעבוד בצורה רציפה.</p> <p><strong>מה חשוב באמת?</strong> יצרנו מערכת חימום ממוקדת, שבה כל אזור נשלט בנפרד. המטרה היא להשיג שליטה מדויקת באזורים החמים, מבלי לפגוע בשאר הוופר. רכיבי הלוגן בעלי גלים קצרים מאפשרים תגובה מהירה, ושליטה בלולאה סגורה מבטיחה אחידות בטמפרטורה ברמה של ±0.1°C לאורך כל תהליך החימום.</p>