http://warm-ir-factory.com/he/tags/resist/ Recent content in Resist on The Warm IR Heating Factory Hugo he Wed, 10 Jun 2026 02:02:44 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Wed, 10 Jun 2026 02:02:44 +0800 http://warm-ir-factory.com/he/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="מחמם אפיית רזיסט קרן אלקטרונים"></p> <p>על רצפת הליתוגרפיה, סטייה של 0.3°C במהלך האפייה של רזיסט מבוסס על קרן אלקטרונים (e-beam) יכולה להפוך דגם מבוקר לכאוס בעובי הקווים. בנינו את מחמם האפייה לרזיסט מבוסס על קרן אלקטרונים שלנו כדי למנוע את הסטייה לפני שהיא מתחילה - כי התשואה נמדדת בננומטרים, לא בדעות.</p> <p><strong>מה שחשוב מתחת למכסה המנוע</strong><br> אנו מפעילים רכיבי אינפרא אדום קצרי גל עם מסלול תרמי מבוסס קוורץ, כך שהתגובה מהירה והטמפרטורה במצב יציב נשארת קבועה. אחידות ברמת המשטח של הוופרים נשמרת על ±0.1°C בכל שטח האפייה, והחזרתיות עומדת על ±0.05°C בין קבוצות. עליות טמפרטורה הן חזרתיות מעצם התכנון, כך שפרופילי האפייה הרכה והקשה שלך אינם נודדים, גם כאשר התור עמוס. הפלטפורמה בנויה לשימוש בחדר נקי מדגם Class 1–100, עם חומרים ומשטחים שנבחרו כדי לשמור על ייצור חלקיקים קרוב לאפס. למעשה, זה מתורגם לפחות פסולים הקשורים לזיהום ויותר זמן פעולה בין מחזורי ניקוי.</p>