वेफर से नमी हटाने हेतु हीटर लैंप

Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800

वेफर पर मौजूद फोटोरेसिस्ट या स्वाभाविक ऑक्साइड में मौजूद नमी कोई छोटी-मोटी समस्या नहीं है। यह तापमान-नियंत्रण प्रणाली को बिगाड़ देता है, एक्सपोजर डोज़ को प्रभावित करता है, एवं क्रिटिकल डाइमेंशनों को अनिश्चित बना देता है। यदि हीटर लैंप तापमान एवं स्वच्छता को बनाए नहीं रख पाता, तो यह विविधता “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में भी बनी रहती है, एवं वेफर के साथ ही पैकेजिंग में भी जारी रहती है।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इस हीटर लैंप को उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से बने उपकरणों के उपयोग से बनाया है। इसके कारण तेज़ एवं सटीक तापन संभव होता है। प्रकाशित क्षेत्र में तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक रहती है, एवं हजारों बेक चक्रों के बाद भी यह ±0.5°C के भीतर ही रहती है। यह सिस्टम क्लास 1–100 की स्वच्छ कक्षाओं में ही काम करता है, एवं हम इन-साइट निगरानी के माध्यम से कोई भी कण उत्पन्न होने से रोकते हैं। 5,000 घंटों तक भी इसका आउटपुट स्थिर रहता है; निरंतर संचालन के दौरान इसकी तीव्रता में 5% से भी कम कमी आती है।

हटाना on The Warm IR Heating Factory

वेफर से नमी हटाने हेतु हीटर लैंप