http://warm-ir-factory.com/id/tags/array/ Recent content in Array on The Warm IR Heating Factory Hugo id Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/id/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/id/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Arranse pemanas inframerah modular"></p> <p>Di bagian proses litografi, proses pemanasan secara perlahan maupun cepat <a href="https://o-yate.net">bukan</a> sekadar “langkah-langkah” yang harus diikuti saja. Itu merupakan komitmen yang harus dipatuhi. Perubahan suhu fotoresist sebesar 2°C saja sudah bisa menyebabkan perubahan dimensi kritis hingga beberapa nanometer. Satu partikel pun yang terlepas selama proses pemanasan dapat merusak wafer berukuran 300 mm. Kami membangun sistem pemanas inframerah modular untuk mengatasi masalah ini.</p> <p><strong>Yang penting secara teknis:</strong><br> Kami menggunakan penghasil panas inframerah dekat (NIR) dalam bentuk array modular. Dengan cara ini, kepadatan daya dapat dikontrol secara lokal, bukan hanya rata-rata di seluruh permukaan pemanas. Hasilnya adalah keseragaman suhu pada wafer sebesar ±0,1°C selama proses berlangsung. Hal ini dapat dipantau menggunakan termokopel, dan hasilnya dibandingkan dengan data sensor yang telah dikoreksi berdasarkan nilai emisi.</p>