http://warm-ir-factory.com/id/tags/peb/ Recent content in (PEB) on The Warm IR Heating Factory Hugo id Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/id/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Pemanas untuk proses Post Exposure Bake (PEB)"></p> <p>Di lantai produksi, proses pemanasan setelah proses eksposur merupakan faktor penentu apakah kontrol dimensi komponen tersebut berhasil atau tidak. Perbedaan suhu sebesar setengah derajat saja sudah cukup untuk membuat lebar garis pada permukaan wafer berada di luar batas yang ditetapkan. Hal ini berarti waktu yang digunakan untuk proses eksposur dan etching menjadi sia-sia. Itulah mengapa pemanas PEB kami dirancang sedemikian rupa agar dapat menjaga stabilitas suhu, dari satu siklus ke siklus berikutnya.</p> <p><strong>Apa yang penting dalam proses ini?</strong><br> Kami menggunakan penghasil sinar inframerah gelombang pendek dengan sumber energi berupa kuarsa-halogen. Energi tersebut disalurkan secara cepat dan efektif ke lapisan fotoresist. Dengan demikian, tercipta keseragaman suhu hingga tingkat sub-milimeter di seluruh area pemanasan, dengan stabilitas suhu sebesar ±0,1°C. Repeatabilitas proses juga <a href="https://o-yate.net">terjaga</a> berkat adanya umpan balik tertutup, sensor berresolusi tinggi, serta sistem pendingin yang dapat menstabilkan suhu tanpa menyebabkan fluktuasi yang berlebihan. Pemanas ini digunakan di ruang bersih kelas 1–100, sehingga tidak ada partikel yang masuk ke dalam proses pemanasan. Dengan demikian, jumlah cacat pada komponen tetap nol.</p>