ウエハーの汚染という悪夢を止めるには
もし、バイオセンサーの製造をフル稼働で行っているのであれば、ランプが破裂することは単なる厄介事ではありません。それは大災害です。
想像してみてください：石英の破片やハロゲンガスがウエハーの上に降り注ぐ様子を。一度破裂すれば、そのロット全体が廃棄物になってしまいます。私たちも同じ経験をしたことがありますし、他の人々がそういう状況を目撃したこともあります。だからこそ、私たちはそのような「二次的な汚染」が起こる前に、赤外線ランプを開発したのです。
ランプが故障する理由
ほとんどの場合、原因は熱ショックです。局所的に高温になり、ガラスがその負荷に耐えられずに破裂してしまいます。
これを防ぐために、私たちは高純度の合成石英を使用しています。この素材は熱膨張率が非常に低く、つまり温度変化にも強いのです。急速な電力投入にも耐えられ、割れることはありません。
しかし、それだけではありません。
私たちは二重の保護構造も採用しています。赤外線放射体を特殊な保護メッシュや高温度に耐えられる石英製のカバーで覆っています。これは一種の保険のようなものです。もし内部のフィラメントが壊れてランプが破裂しても、外側の保護層が破片を防ぎます。そうすれば、ウエハーは汚染されず、混乱することもありません。
熱の処理
バイオセンサーの製造には熱が必要です。しかも、迅速に熱を供給する必要があります。そのため、少量のスペースで大量のワット数を供給しています。
問題は、そのような圧力がシール部分に大きな負担をかけることです。密閉状態を維持するために、私たちは強化された電極を使用しています。これにより、通常ランプを早く壊してしまうガス漏れを防ぐことができます。
注意すべき点
注意点としては、高出力のランプは非常に高温になります。
私たちの設計では、ガラスの破片がウエハーに当たらないようにしていますが、その高温によって取り付けブラケットが変形してしまう可能性があります。ですから、冷却ファンや水冷装置が、ランプの全ワット数に対応できるかを確認してください。
また、必ずPID制御機能を備えたシステムに接続してください。
目標温度を超えてしまうと、バイオセンサーだけでなく、ランプの寿命も短くなってしまいます。温度を安定させておけば、何千時間も安心して使用できます。