http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%BC%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェーハー on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ装置用温度センサー"></p> <p>ライン上でウェハはハロゲンランプの下に位置し、フォトレジストのプロファイルを固定するソフトベイクを待っている。このベイク工程の温度が2°Cずれるだけで、クリティカルディメンションが数ナノメートル動き、ロットは現像後にのみ判明する欠陥を伴ってトラックから出てしまう。ツールは事前に警告しない。ただ熱的な結果を出すだけで、その代償はプロセスが負うことになる。<br> 我々はウェハツール向けに温度センサーを製造している。リソグラフィの熱予算は選択肢ではなく、歩留まりとスクラップの境界線だからである。センサーがドリフトすれば、コントローラーは誤った設定値を追いかける。応答が遅れれば、レシピで想定していない過渡現象がウェハに発生する。ここでの「精度」「再現性」「クリーンルーム適合性」は単なる流行語ではなく、仕様内運転と祈るしかない運転の差である。</p>