http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:55:58 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Tue, 30 Jun 2026 01:55:58 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ウェーハ用カスタム赤外線ヒーター"></p> <p>ウェーハを加熱する際に2℃もの温度変動があると、それは単なる誤差というだけではなく、製品の不良原因となります。フォトレジストの感度や線幅の精度、そして欠陥の発生率は、再現性があり均一な加熱が行われているかどうかに依存します。温度プロファイルにばらつきがあると、汚れや付着問題、または後工程で初めて気づかれるような粒子の問題が発生します。</p> http://warm-ir-factory.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="高度なウエハ製造工場向けのゾーン別加熱システム"></p> <p>リソグラフィーの<a href="https://goldisgood.com">工程</a>において、温度は単なるパラメーターではありません。それ自体が工程そのものなのです。ソフトベイク時に2°Cの変動があるだけで、フォトレジストの厚さが変わってしまいます。また、ハードベイク時にわずかでも温度が変動すると、重要な寸法の制御が崩れてしまいます。ウェーハは絶えず移動しており、オーブンも停止することはありません。したがって、熱管理は非常に重要です。</p> <h3 id="ハードウェア面で重要なのは何か">ハードウェア面で重要なのは何か</h3> <p>私たちは、個々の熱領域を独立して制御できるようにゾーン別の加熱システムを構築しました。これにより、ウェーハ全体の温度分布を均一に保ちつつ、特定の場所の温度を正確に制御できます。短波長のハロゲン素子を使用することで迅速な応答が得られ、フィードバック制御によって、ウェーハ全体の温度が±0.1°C以内に抑えられます。</p>