http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E3%82%B0%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%96%E3%83%9C%E3%83%83%E3%82%AF%E3%82%B9/ Recent content in グローブボックス on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Tue, 09 Jun 2026 01:18:09 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/glovebox-infrared-heater-element/ Tue, 09 Jun 2026 01:18:09 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/glovebox-infrared-heater-element/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="グローブボックス赤外線ヒーターエレメント"></p> <p>リソグラフィベイにおいて、フォトレジストのソフトベイクの温度が0.5℃ずれるだけで、ライン幅が規格外になることがある。クラス1–100のラインを運用しており、各サイクルは粒子数、温度均一性、再現性にかかっている。グローブボックスのヒーターが設定温度を維持できなければ、ウェハは単に目標に届かないだけでなく、エッチングや成膜工程に直接リスクを持ち込むことになる。</p>