http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC/ Recent content in ドライヤー on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 13:24:41 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/non-contact-wafer-dryer-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 13:24:41 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/non-contact-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="非接触型ウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、たった一歩間違えただけで、製品の品質が大きく左右されることがあります。清掃後に残った水分や水跡は、見た目上の問題だけでなく、粒子の発生原因となり、フォトレジストの密着性を悪化させます。従来の接触式乾燥方法では、傷や粒子の移動のリスクがあります。その結果、廃棄されるウェーハが増え、重要な寸法が変わってしまいます。</p>