http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E3%83%93%E3%83%BC%E3%83%A0/ Recent content in ビーム on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Wed, 10 Jun 2026 02:02:42 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Wed, 10 Jun 2026 02:02:42 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Eビームレジストベーキングヒーター"></p> <h1 id="リソグラフィーの現場">リソグラフィーの現場</h1> <p>eビームレジストの焼成中に0.3℃のドリフトが発生すると、制御されたパターンがライン幅の混乱に変わる可能性があります。私たちは、そのドリフトを始まる前に止めるためにeビームレジスト焼成ヒーターを設計しました。なぜなら、歩留まりはナノメートルで測定されるものであって、意見ではないからです。</p>