http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E7%82%89/ Recent content in 炉 on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 01:45:22 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ Sat, 27 Jun 2026 01:45:22 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="LPCVD炉の加熱素子"></p> <p>製造現場において、LPCVD炉の熱的なずれは、突発的な故障として現れることはありません。それは、成膜プロファイルが不安定になったり、リソグラフィー後のCD分布が広がったり、あるいは工程の最終段階で何の前兆もなく不良品が生じる形で現れます。私たちは、熱バランスをプロセスの許容範囲内に保つように加熱要素を設計しています。</p>