http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E7%9F%B3%E8%8B%B1/ Recent content in 石英 on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 01:24:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:24:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ファブレーザー用クォーツガラスシールド"></p> <p>リソグラフィーラインにおいて、フォトレジストを加熱する際にランプの温度がわずか0.5℃でも変動してしまうと、ウエハーの線幅が規格から外れてしまいます。そのようなウエハーは検査時に不合格とされます。私たちは、そのような温度変動を防ぐために、ファブ内のランプ用に石英ガラス製のシールドを開発しました。</p>