http://warm-ir-factory.com/ja/tags/%E9%85%8D%E5%88%97/ Recent content in 配列 on The Warm IR Heating Factory Hugo ja Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ja/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="モジュラー型赤外線ヒーターアレイ"></p> <p>リソグラフィープロセスにおいて、ソフトベイクとハードベイクは単なる「工程」に過ぎません。それらは、必ず守らなければならない規則なのです。フォトレジストの温度が2°Cだけ変動しても、重要な寸法にはナノメートル単位の影響が出ます。加熱時に発生する微粒子一つで、300mmのウェーハが破壊されてしまうこともあります。私たちは、このような現実を踏まえて、モジュール式の赤外線加熱装置を開発しました。</p>