http://warm-ir-factory.com/ko/tags/%EA%B5%AC%EC%97%AD%EB%B3%84%EB%A1%9C-%EB%B6%84%EB%A5%98%EB%90%A8/ Recent content in 구역별로 분류됨 on The Warm IR Heating Factory Hugo ko Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="첨단 웨이퍼 제조 공장을 위한 구역별 난방 시스템"></p> <p>리소그래피 공정에서 온도는 단순한 파라미터가 아니라, 공정 자체를 구성하는 핵심 요소입니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 2°C만 변동해도 포토레지스트의 두께에 영향을 주며, 하드 베이크 과정에서 조금이라도 온도가 변동하면 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 웨이퍼는 계속 움직이고, 오븐도 멈추지 않으므로 열 관리가 매우 중요합니다.</p>