http://warm-ir-factory.com/ko/tags/%EB%AA%A8%EB%93%88%ED%98%95/ Recent content in 모듈형 on The Warm IR Heating Factory Hugo ko Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="모듈식 적외선 난방 어레이"></p> <p>리소그래피 공정에서 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’는 단순한 절차가 아닙니다. 이는 반드시 준수해야 하는 규칙입니다. 포토레지스트의 온도가 2°C만 변해도 치명적인 오차가 발생할 수 있습니다. 가열 과정에서 생성된 작은 입자 하나만으로도 300mm 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 우리는 이러한 현실에 맞춰 모듈형 적외선 가열 장치를 개발했습니다.</p>