http://warm-ir-factory.com/ko/tags/%EB%B0%98%EC%82%AC%EC%B2%B4/ Recent content in 반사체 on The Warm IR Heating Factory Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 01:27:36 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/infrared-bulb-with-gold-reflector/ Sat, 06 Jun 2026 01:27:36 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/infrared-bulb-with-gold-reflector/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="금색 반사체가 장착된 적외선 전구"></p> <p>Fab 라인에서 베이크 온도가 0.3°C만 변해도 치수 제어가 흔들리고 많은 작업물이 폐기된다. 소프트 베이크와 하드 베이크를 진행할 때는 희망이 아니라 재현성이 필요하다. 이 때문에 프로세스의 현실에 맞추어 금 도금된 반사판이 장착된 적외선 전구를 설계했다.<br> <strong>기본 원리</strong><br> 소스는 석영 소재의 단파장 적외선 방출기로, 에너지를 집중시키고 산란을 최소화하는 금도금 반사판과 조합되어 있다. 베이크 플레이트 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 열 균일도를 ±0.1°C 내로 목표하며, 부하 조건에서 설정 온도 안정성은 ±0.5°C 이내다. 온도 변화는 2초 이내로 안정화되어 수식에 따라 정확히 작동한다. 출력은 5,000시간 이상 안정적으로 유지되며, 루멘 및 온도 감소가 5% 미만이다. 전구 패키지는 표준 램프 하우징에 장착 가능하며, 터미널 블록은 일반 장비 배선과 호환된다.<br> <strong>생산 환경에서의 내구성</strong><br> 리소그래피 트랙에서 이 전구는 포토레지스트 두께 프로파일을 안정적으로 유지해 CD 균일성을 향상시키고 재작업을 줄인다. 패키징 공정에서는 안정적인 경화와 함께 클린한 열 프로파일을 제공해 언더필 가스 배출을 억제한다. 금 반사판은 주변부에 불필요한 열이 전파되는 것을 막아 인접 광학계와 센서가 지정된 열 허용범위 내에서 작동하도록 한다.<br> 클린룸 클래스 1–100 규격은 저방출 가스 재료와 입자 발생이 없는 구조로 지원된다. 에너지 소모가 감소하는 이유는 열이 불필요한 챔버 주변 가열이 아닌 목표 지점으로 전달되기 때문이다.<br> <strong>설치 시 주의사항</strong><br> 극성 및 반사판 정렬에 주의해야 하며, 정렬이 틀어지면 핫스폿과 온도 드리프트가 발생한다. 전구는 고온으로 작동하므로 설치 기구가 열 부하를 견딜 수 있는지 확인하고 냉각 상태를 점검한 후 공정을 인증해야 한다. 교체 주기는 예방 유지보수 일정에 맞춰 계획해 예기치 않은 가동 중단을 방지한다.</p>