http://warm-ir-factory.com/ko/tags/%EC%84%BC%EC%84%9C/ Recent content in 센서 on The Warm IR Heating Factory Hugo ko Sat, 25 Jul 2026 02:55:50 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/reducing-cycle-times-in-wafer-processing-ir-heating-vs-forced-air-convection/ Sat, 25 Jul 2026 02:55:50 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/reducing-cycle-times-in-wafer-processing-ir-heating-vs-forced-air-convection/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <p>반제품 처리 과정에서 에너지를 낭비하는 것을 그만두자.<br> 솔직히 말해서, 실리콘 웨이퍼를 가열하기 위해 방 안에 뜨거운 공기를 순환시키는 방식은 너무 느립니다. 사실상 공기가 열을 전달하는 동안 기다려야 하는 셈이죠. 대량 생산 환경에서는 이러한 지연 시간이 치명적입니다. 이는 다른 모든 공정을 방해하는 큰 장애물이 됩니다.</p> http://warm-ir-factory.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sat, 11 Jul 2026 05:28:20 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p><strong>폭발을 막는 방법: MEMS 웨이퍼를 안전하게 건조시키는 방법</strong><br> 현실적으로 말하자면, 화학적 세척 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조하는 것은 마치 불장난과 같습니다. 가열 요소가 용매 증기와 바로 인접해 있으며, 그 용매 증기는 말 그대로 폭발성이 있습니다. 그러니 일반적인 적외선 램프를 그런 환경에 그냥 넣어두고 좋은 결과를 기대할 수는 없습니다.</p> http://warm-ir-factory.com/ko/posts/smart-sensor-packaging-infrared/ Fri, 10 Jul 2026 01:58:26 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/smart-sensor-packaging-infrared/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="스마트 센서 포장 적외선"></p> <p>왜 센서 포장에 있어서 전통적인 대류식 오븐 대신 적외선 가열 방식을 사용하는가?</p> <p>현재 반도체 제조업계에서는 모두 탄소 중립에 대해 이야기하고 있습니다. 하지만 솔직히 말해서, 기존의 작업 방식을 바꾸지 않고는 실제로 그것을 실현하기는 어렵습니다. 저희에게 있어서 가장 큰 성과는 바로 그런 구식 대류식 오븐을 버리고, 스마트 센서 포장에 적합한 적외선 가열 방식을 도입한 것입니다.</p> http://warm-ir-factory.com/ko/posts/hydrogen-sensor-fabrication-heater/ Thu, 09 Jul 2026 14:37:30 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/hydrogen-sensor-fabrication-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="수소 센서 제작용 히터"></p> <p><strong>서론</strong><br> 상상해 보세요. 공기 중에 가연성이 있는 청소용 화학물질들이 가득한 생산 현장의 모습을 말입니다. 이런 곳에서는 일반적인 히터를 사용하는 것 자체가 위험할 수 있습니다.<br> 저희는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 적외선 히터를 개발했습니다. 전체 구조가 단단히 밀봉되어 있어서, 열원이 외부 환경과 완전히 분리됩니다.<br> 이것은 단순한 히터가 아닙니다. 센서 제조에 필요한 정확한 온도를 제공하면서도, 화재가 발생할 가능성을 원천적으로 차단하는 안전한 장비입니다.</p> http://warm-ir-factory.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 장비용 온도 센서"></p> <p>라인 위에서 웨이퍼는 할로겐 램프 아래에 위치하며, 포토레지스트 프로파일을 설정하는 소프트 베이크를 기다린다. 베이크 온도 구간에서 2°C의 변동은 크리티컬 치수를 몇 나노미터 이동시킬 수 있으며, 이로 인해 개발 후에야 확인되는 결함이 트랙을 떠나는 배치에 남게 된다. 장비는 사전에 경고하지 않는다. 단지 열 결과만 제공하며, 공정이 그 대가를 치른다.<br> 우리는 웨이퍼 장비용 온도 센서를 제작하는데, 리소그래피에서 열 예산은 선택 사항이 아니라 수율과 불량의 경계이기 때문이다. 센서가 드리프트하면 컨트롤러는 잘못된 설정점을 쫓으며, 응답이 지연되면 레시피에서 요구하지 않은 과도 상태를 웨이퍼가 경험한다. 정밀도, 반복성, 클린룸 호환성은 단순한 유행어가 아니다. 이는 규격 내 운전과 손가락을 교차하는 운전 간 차이를 의미한다.</p>