http://warm-ir-factory.com/ko/tags/%EC%A0%9C%EA%B1%B0/ Recent content in 제거 on The Warm IR Heating Factory Hugo ko Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="웨이퍼 수분 제거용 히터 램프"></p> <p>웨이퍼 위의 포토레지스트나 천연 산화막에 함유된 수분은 단순한 학술적 문제가 아닙니다. 이러한 수분은 열 관리에 영향을 미치고, 노출량을 왜곡시키며, 치수 제어를 어렵게 만듭니다. 만약 가열 장치가 올바른 온도와 청결도를 유지할 수 없다면, 그로 인한 변동성은 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정에서도 계속해서 발생하며, 결국 웨이퍼에까지 영향을 미칩니다.</p>