http://warm-ir-factory.com/ko/tags/%ED%8F%AC%EC%8A%A4%ED%8A%B8/ Recent content in 포스트 on The Warm IR Heating Factory Hugo ko Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="노출 후 베이킹(PEB) 히터"></p> <p>팹 내에서는 노출 후의 가열 과정이 치명적인 크기 제어에 결정적인 영향을 미칩니다. 웨이퍼의 위치가 단 0.5도만이라도 틀어져도 회로선의 폭이 기준치를 벗어나게 되고, 그렇게 되면 수 시간 동안 걸린 노출 및 에칭 작업이 모두 낭비됩니다. 이러한 이유로 우리의 PEB 히터는 매번 일관된 열 관리가 가능하도록 설계되었습니다.</p>