http://warm-ir-factory.com/ko/tags/tool/ Recent content in Tool on The Warm IR Heating Factory Hugo ko Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 장비용 온도 센서"></p> <p>라인 위에서 웨이퍼는 할로겐 램프 아래에 위치하며, 포토레지스트 프로파일을 설정하는 소프트 베이크를 기다린다. 베이크 온도 구간에서 2°C의 변동은 크리티컬 치수를 몇 나노미터 이동시킬 수 있으며, 이로 인해 개발 후에야 확인되는 결함이 트랙을 떠나는 배치에 남게 된다. 장비는 사전에 경고하지 않는다. 단지 열 결과만 제공하며, 공정이 그 대가를 치른다.<br> 우리는 웨이퍼 장비용 온도 센서를 제작하는데, 리소그래피에서 열 예산은 선택 사항이 아니라 수율과 불량의 경계이기 때문이다. 센서가 드리프트하면 컨트롤러는 잘못된 설정점을 쫓으며, 응답이 지연되면 레시피에서 요구하지 않은 과도 상태를 웨이퍼가 경험한다. 정밀도, 반복성, 클린룸 호환성은 단순한 유행어가 아니다. 이는 규격 내 운전과 손가락을 교차하는 운전 간 차이를 의미한다.</p>