http://warm-ir-factory.com/ms/tags/modular/ Recent content in Modular on The Warm IR Heating Factory Hugo ms Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ms/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ms/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Sistem pemanasan inframerah berbentuk modul"></p> <p>Dalam proses litografi, proses pemanggangan secara lembut dan keras bukan sekadar “langkah-langkah” yang perlu diikuti. Sebaliknya, ia merupakan komitmen yang perlu dipatuhi. Perubahan suhu fotoresist sebanyak 2°C sahaja sudah cukup untuk mengubah dimensi penting sesuatu wafer sebanyak beberapa nanometer. Satu zarah pun yang terlepas semasa proses pemanasan boleh merosakkan wafer berukuran 300 mm tersebut. Oleh itu, kami mencipta sistem pemanasan inframerah berbentuk modular agar dapat menyesuaikan diri dengan realiti ini.</p> <p><strong>Apa yang penting dari segi teknikal</strong><br> Kami menggunakan pengeluar cahaya inframerah dekat (NIR) dalam bentuk array modular. Dengan cara ini, kepadatan tenaga dapat dikawal di setiap kawasan tertentu, bukannya secara purata di seluruh permukaan pemanas. Hasilnya, ketepatan suhu pada wafer adalah ±0.1°C sepanjang proses pembuatan. Ini dapat <a href="https://henruite.com">dikesan</a> menggunakan termokopel, dan juga melalui pengukuran yang disokong oleh data emisi yang telah disemak semula.</p>