http://warm-ir-factory.com/ms/tags/suhu/ Recent content in Suhu on The Warm IR Heating Factory Hugo ms Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/ms/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/ms/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Sensor suhu untuk alat wafer"></p> <p>Di atas talian, wafer diletakkan di bawah lampu halogen, menunggu bakar lembut yang menetapkan profil fotoresist. Penyimpangan 2°C dalam tingkap bakar itu boleh menggerakkan dimensi kritikal beberapa nanometer, dan lot tersebut meninggalkan trek dengan kecacatan yang hanya muncul selepas pembangunan. Alat tidak akan memberi amaran terlebih dahulu. Ia hanya memberikan hasil terma, dan proses menanggung akibatnya.</p> <p>Kami membina sensor suhu untuk alat wafer kerana bajet terma dalam litografi bukan pilihan—ia adalah garis pemisah antara hasil dan sisa. Jika sensor melenceng, pengawal mengejar titik set palsu. Jika tindak balas tertunda, wafer mengalami transient yang tidak pernah dijangka dalam resipi. Ketepatan, kebolehulangan, dan kesesuaian bilik bersih bukan sekadar kata kunci di sini. Ia adalah perbezaan antara operasi mengikut spesifikasi dan operasi dengan harapan.</p>