http://warm-ir-factory.com/nl/tags/geavanceerd/ Recent content in Geavanceerd on The Warm IR Heating Factory Hugo nl Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/nl/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/nl/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Gezoneerde verwarming voor geavanceerde waferfabrieken"></p> <p>Op de lithografiefaciliteiten is temperatuur geen gewone parameter – het is juist het kernpunt van het proces. Een verschil van 2°C tijdens het zachte bakken heeft invloed op de dikte van de fotorezist. Ook een klein verschil in temperatuur tijdens het harde bakken kan ertoe leiden dat de controle over de afmetingen van de wafers niet meer mogelijk is. De wafers blijven zich bewegen, de ovens stoppen nooit met werken, en er is nauwelijks ruimte voor fouten.</p>