http://warm-ir-factory.com/nl/tags/modulair/ Recent content in Modulair on The Warm IR Heating Factory Hugo nl Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/nl/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/nl/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Modulaire infraroodverwarmingssysteem"></p> <p>Op de lithografie-afdeling zijn ‘zachte’ en ‘harde’ bereidingsschakels geen gewone stappen in het proces; ze zijn eerder verplichtingen die moet worden nageleefd. Een verschil van 2°C in de temperatuur van de fotoresist kan ervoor zorgen dat cruciale afmetingen veranderen met nanometers. Eén enkele deeltje dat vrijkomt tijdens het opwarmen kan al voldoende zijn om een 300 mm grote chip beschadigd te maken. We hebben daarom een modulair infraroodverwarmingssysteem ontworpen om aan deze <a href="https://henruite.com">eisen</a> te voldoen.</p> <p><strong>Wat technisch belangrijk is</strong> We gebruiken near-infrarode straalers in een modulairstructuur. Hierdoor kan de vermogensdichtheid per gebied worden geregeld, in plaats van dat deze gemiddeld wordt over de hele oppervlakte van het oppervlak waarop de chip wordt verwarmd. Het resultaat is een consistentie van ±0,1°C over het hele procesbereik. Dit wordt gemeten met thermokoppels en gecontroleerd met behulp van sensoren die rekening houden met de emissiviteit van het materiaal. De reactietijd is minder dan een seconde, zodat er geen thermische schommelingen optreden wanneer de instellingen worden veranderd. Het apparaat is <a href="https://goldisgood.com">geschikt</a> voor gebruik in een schone omgeving van klasse 1: afgesloten behuizingen, materialen met lage <a href="https://o-yate.com">uitstoot</a> van gassen, en geen blootliggende draden. De productie van deeltjes blijft laag, en de herhaalbaarheid wordt gegarandeerd door gebalanceerde controle en een vaste geometrie van de straalers.</p>