http://warm-ir-factory.com/pl/tags/tablica/ Recent content in Tablica on The Warm IR Heating Factory Hugo pl Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/pl/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/pl/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Modułowa matryca grzewcza podczerwieni"></p> <p>W procesie litografii „miękkie” i „twarde” suszenie nie są zwykłymi krokami w procesie produkcji – to obowiązki, których musimy przestrzegać. Nawet niewielka zmiana temperatury fotorezystu o 2°C może powodować zmianę kluczowych wymiarów elementów o <a href="https://henruite.com">kilka</a> nanometrów. Jeden tylko cząsteczek, która powstanie podczas procesu podgrzewania, może zniszczyć płytkę o rozmiarze 300 mm. Dlatego stworzyliśmy modułowy układ grzewczy na podczerwień, który odpowiada tym wymaganiom.</p> <p><strong>Co jest istotne z punktu widzenia technicznego</strong> Używamy emiterów podczerwieni w formie modułowego układu, dzięki czemu gęstość mocy jest kontrolowana w poszczególnych strefach, a nie średnio na całej powierzchni grzejnika. Efektem jest jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C w całym oknie procesowym, co jest sprawdzane za pomocą termopar oraz systemów pomiarowych skorygowanych pod kątem emisyjności. Reakcja układu jest błyskawiczna, więc przy zmianie ustawień nie występują żadne problemy termiczne. Sprzęt nadaje się do pracy w warunkach czystej sali produkcyjnej – ma hermetyczną obudowę, materiały o niskiej emisyjności, bez odkrytych elementów. Ilość cząsteczek powstających podczas procesu jest niska, a powtarzalność procesu zapewniona jest dzięki kontroli w zamkniętym obiegu i stałej geometrii emiterów.</p>