Вафля on The Warm IR Heating Factory

Специальный инфракрасный обогреватель для пластин

Tue, 30 Jun 2026 01:55:58 +0800

На поверхности пластины отклонение температуры на 2°C во время процедуры мягкой обработки — это не просто небольшое отклонение; это причина брака. Чувствительность фотополимера, параметры ширины линий и стандарты качества напрямую зависят от стабильности и однородности температуры. Когда тепловой профиль меняется, возникают проблемы с прилипанием материала, а также появляются частицы, которые проявляются лишь на более поздних этапах производства.

Что действительно важно Мы разрабатываем специальные инфракрасные нагреватели с учетом особенностей обработки пластин. Используются коротковолновые или средневолновые источники света, соответствующие характеристикам поглощения материала и времени обработки. Главная цель — достижение однородности температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, чтобы процедура обработки фотополимера проходила в заданных условиях. Стабильность температуры обеспечивается благодаря калиброванным датчикам и стабильной работе излучателя, а не за счет чрезмерных отклонений от установленного значения. Устройства предназначены для использования в помещениях класса чистоты 1–100; они имеют кварцевые или керамические элементы и герметичные контакты, что минимизирует образование частиц. Плотность мощности регулируется в соответствии с размерами оборудования и уровнем напряжения; кроме того, наличие соответствующих разъемов облегчает интеграцию устройства в существующую систему.

Лампа для сушки кристаллов без контакта

Tue, 23 Jun 2026 13:24:41 +0800

На поверхности каменной платформы даже один влажный шаг может повлиять на качество готового продукта. Сразу после очистки следы воды и остаточная влажность не являются лишь эстетической проблемой – они способствуют образованию частиц и приводят к неравномерному прилипанию фоторезиста. Традиционное сушение с использованием контакта? Это рискует привести к появлению царапин и переносу частиц. В результате получаются бракованные пластинки, а критические размеры изделий становятся неточными.

Что действительно важно
Мы разработали устройство для сушки пластинок без контакта, используя источник коротковолнового инфракрасного излучения. Оно быстро нагревает поверхность пластинки, при этом сама поверхность остается незатронутой. Важным параметром является тепловая однородность – отклонение не должно превышать ±0,1°C по всей поверхности пластинки. Этого можно добиться благодаря циклической системе управления, которая отслеживает потери тепла и компенсирует их в реальном времени. Устройство подходит для использования в чистых помещениях класса 1; в зоне сушки нет движущихся частей, а система фильтрации сохраняет уровень частиц ниже допустимого значения. Повторяемость процесса сушки составляет менее 0,2°C, что способствует точному контролю размеров изделия.

Инфракрасная лампа SK15 для печи для пластин

Fri, 19 Jun 2026 02:36:56 +0800

На этапе литографии даже небольшое отклонение температуры в 2°C может нарушить однородность покрытия пластин и потребовать повторной обработки. Необходимо, чтобы температура оставалась в заданном диапазоне с каждым циклом производства. Инфракрасная лампа SK15 предназначена именно для этой цели.

Что имеет значение внутри устройства
SK15 использует излучатель кратковолнового инфракрасного света, настроенный так, чтобы энергия направлялась непосредственно в фоторезист и саму пластину. Реакция устройства происходит за считанные миллисекунды, поэтому печь быстро достигает заданной температуры и сохраняет её с точностью до ±0,1°C на протяжении всего цикла. Устройство также соответствует стандартам чистых помещений: используются материалы класса 1–100, при работе не образуется частиц, а стабильность выходной мощности сохраняется в течение более 5000 часов с отклонением менее 5%. Плотность мощности подобрана так, чтобы соответствовать требованиям печи, а размеры лампы позволяют её использование в стандартных креплениях и электрических интерфейсах.

Регулируемое отопление для современных заводов по производству пластин

Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800

На этапе литографии температура – это не просто ещё один параметр; она является ключевым фактором процесса. Изменение температуры на 2°C во время процедуры мягкой обработки приводит к изменению толщины фотопозитива, а даже небольшое отклонение температуры во время процедуры жесткой обработки может нарушить требования к точности размеров изделий. Пластинки постоянно двигаются, печи работают бесперерывно, и температурный режим должен быть строго контролируем.

Что имеет значение на самом деле? Мы используем зонированное нагревание, при котором каждая зона независимо контролируется. Это позволяет точно контролировать температуру в определенных зонах, не нарушая при этом стабильность температуры на всей поверхности пластинки. Галогеновые элементы с короткими волнами обеспечивают быстрый ответ на изменения температуры, а система закрытого цикла контроля сохраняет стабильность температуры на уровне ±0,1°C на протяжении всего процесса обработки.