Датчик on The Warm IR Heating Factory

Точный ИК датчик для пластин

Sat, 25 Jul 2026 02:55:50 +0800

Прекратим тратить время на нагрев воздуха в процессе полупроводниковой обработки.
Честно говоря, нагрев кремниевых пластин с помощью горячего воздуха — это крайне медленный процесс. По сути, приходится ждать, пока воздух сделает свою работу. В производствах с высокой производительностью такая задержка становится серьезной проблемой. Это огромная трата времени, которая замедляет весь процесс.

Мы нашли лучший способ. Вместо циркуляции воздуха мы используем точные инфракрасные датчики и излучатели для передачи тепла через излучение.

Почему инфракрасное излучение лучше конвекции
Конвекция требует наличия среды для передачи тепла. Инфракрасное излучение не нуждается в этом. Излучатели направляют фотоны прямо на пластину. Не нужно тратить время на нагрев всей комнаты. Процесс происходит почти мгновенно.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Sat, 11 Jul 2026 05:28:19 +0800

Как предотвратить возникновение опасных ситуаций: безопасное сушение пластин MEMS
На самом деле процесс сушки пластин MEMS-датчиков после химической обработки напоминает игру с огнем. Рядом с парами растворителей находятся нагревательные элементы, которые, честно говоря, могут взорваться. Нельзя просто поместить туда обычную инфракрасную лампу и надеяться на лучшее.

Поэтому мы сосредотачиваемся на создании защитного корпуса для лампы. Это своего рода «крепость», которая не позволяет произойти катастрофе.

Пресечение утечек
Чтобы предотвратить попадание вредных газов к электрическим контактам, мы помещаем инфракрасную лампу в корпус из специального стекла или кварца, устойчивого к химическим воздействиям. Это своего рода физическая преграда. Затем мы закрываем концы корпуса с помощью керамических или металлических уплотнителей или высокотемпературного эпокси-смолы. Зачем все это делать? Потому что если уплотнитель сломается, пары растворителя попадут на активные контакты. Один искра – и все будет потеряно. Мы тратим много времени на обеспечение герметичности всех соединений.

Умная упаковка датчика инфракрасного излучения

Fri, 10 Jul 2026 01:58:26 +0800

Почему мы заменяем конвекционные печи на инфракрасные устройства для обработки сенсоров
Все, кто работает в производстве полупроводников, сейчас говорят о необходимости достижения углеродной нейтральности. Но будем честны: на практике это сложно осуществить без изменений в самой процедуре производства. Для нас самым значимым шагом стало отказ от старых конвекционных печей и использование инфракрасного нагрева для обработки сенсоров.

Вместо нагрева всей металлической коробки и воздуха внутри нее мы используем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Это совершенно другой подход – тепло поступает непосредственно на сам материал, который обрабатывается.

Нагреватель для изготовления датчика водорода

Thu, 09 Jul 2026 14:37:30 +0800

Введение
Представьте себе производственную площадку, где в воздухе много легковоспламеняющихся химикатов, используемых для очистки оборудования. В таких условиях использование обычных нагревателей приводит к серьезным проблемам. Мы разработали инфракрасные нагреватели именно для решения этой проблемы. Вся конструкция нагревателя герметична, что позволяет полностью изолировать источник тепла от окружающей среды. Это не просто нагреватель – это устройство, предназначенное для обеспечения безопасности, которое предотвращает любую возможность возгорания, при этом обеспечивая необходимую температуру для производства датчиков.

Технические характеристики
Эти нагреватели отличаются высокой мощностью в компактном корпусе. Они работают на напряжении 400 В и выдают мощность 2500 Вт, при этом все это происходит внутри трубки длиной 300 мм. Это означает, что имеется очень мощный источник тепла, который может быстро нагреть поверхности до нужной температуры, без необходимости перегружать систему. Напряжение 400 В соответствует стандартному промышленному напряжению, поэтому не требуется использование дополнительных трансформаторов.

Датчик температуры для инструмента обработки пластин

Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800

На линии пластина располагается под галогенными лампами, ожидая мягкую термообработку, которая задаёт профиль фоторезиста. Отклонение температуры на 2°C в этом окне может сместить критический размер на несколько нанометров, и партия покидает трек с дефектом, который проявляется только после проявления. Оборудование не предупредит заранее. Оно просто выдаст термический результат, и процесс заплатит за это.

Мы разрабатываем температурные датчики для оборудования обработки пластин, поскольку тепловой бюджет в литографии не является опцией — это граница между выходом годной продукции и браком. Если датчик дрейфует, контроллер будет стремиться к ложной уставке. Если реакция запаздывает, пластина подвергается переходному процессу, не предусмотренному рецептом. Точность, повторяемость и совместимость с чистыми помещениями здесь — не просто слова. Это разница между работой в пределах спецификации и работой с надеждой на лучшее.