http://warm-ir-factory.com/ru/tags/%D0%BC%D0%BE%D0%B4%D1%83%D0%BB%D1%8C%D0%BD%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Модульный on The Warm IR Heating Factory Hugo ru Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ru/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ru/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Модульная инфракрасная система отопления"></p> <p>На этапе литографии процессы мягкой и жесткой обработки фоторезиста не являются просто последовательными шагами в работе. Это обязательства, которые необходимо соблюдать. Изменение температуры фоторезиста на 2°C может привести к изменению его критических размеров на уровне нанометров. Одна лишняя частица, образующаяся в процессе нагрева, может повредить пластину диаметром 300 мм. Мы создали модульную систему инфракрасного нагрева, чтобы соответствовать всем этим требованиям.</p> <p><strong>Что имеет значение с технической точки зрения</strong> Мы используем излучатели в ближнем инфракрасном диапазоне в модульной конфигурации. Благодаря этому плотность мощности контролируется в отдельных зонах, а не в целом по всей площади нагревательной поверхности. Результатом является однородность температуры на пластине в пределах ±0,1°C во всем объеме процесса. Это достигается с помощью термопар и датчиков, корректирующих данные с учетом экспозиции.</p>