http://warm-ir-factory.com/ru/tags/%D1%83%D0%B4%D0%B0%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B5/ Recent content in Удаление on The Warm IR Heating Factory Hugo ru Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ru/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/ru/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Лампа для удаления влаги с пластинок"></p> <p>На практике наличие влаги в фотополимере или природном оксиде на пластине не является каким-то незначительным фактором. Это влияет на температурный режим обработки, насколько точно происходит экспозиция поверхности пластины, а также делает критические размеры её поверхности изменчивыми. Если лампа для нагрева не может поддерживать необходимую температуру и уровень чистоты, то эти колебания сохраняются на всех этапах обработки и передаются на саму пластину уже на этапе её упаковки.</p> <p><strong>Что действительно важно</strong><br> Мы разработали лампу для удаления влаги с использованием галогеновых элементов коротковолнового инфракрасного спектра, помещенных в корпуса из высокочистого кварца. Это позволяет достичь быстрого локализованного нагрева с точным контролем спектра излучения. Равномерность температуры в обрабатываемой зоне составляет ±0,1°C, а повторяемость результатов — ±0,5°C даже после тысяч циклов обработки. Система работает в чистых комнатах класса 1–100; мы также проверяем отсутствие частиц в процессе работы с помощью системы контроля в реальном времени. Эффективность лампы остается стабильной даже после 5 000 часов работы, при этом отклонение интенсивности излучения составляет менее 5%.</p>