http://warm-ir-factory.com/ru/tags/peb/ Recent content in (PEB) on The Warm IR Heating Factory Hugo ru Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/ru/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Нагреватель для завершающей обработки после экспозиции (PEB)"></p> <p>На производственном участке процесс высушивания пластины после облучения определяет успех или неудачу в контроле размеров деталей. Даже отклонение в полградуса может привести к тому, что ширина линий на пластине окажется за пределами допустимых значений, и тогда все часы, затраченные на облучение и эрозию, будут потрачены впустую. Поэтому наши нагреватели PEB разработаны так, чтобы сохранять стабильность температуры на протяжении всего процесса.</p> <p><strong>Что имеет значение внутри устройства</strong><br> Мы используем инфракрасные излучатели с кварцево-галогенным источником света; их настройка позволяет энергии быстро и эффективно поступать в слой фоторезиста. Это обеспечивает тепловую однородность в зоне высушивания на уровне менее миллиметра, а также стабильность температуры на уровне ±0,1°C. Повторяемость процесса обеспечивается за счет замкнутой системы обратной связи, высокоточных датчиков и элементов, способных быстро приходить в состояние равновесия без перегрева. Устройство работает в классах чистоты 1–100, что исключает появление частиц в процессе высушивания, благодаря чему количество дефектов остается на минимальном уровне.</p>