http://warm-ir-factory.com/tr/tags/f%C4%B1r%C4%B1nlama/ Recent content in Fırınlama on The Warm IR Heating Factory Hugo tr Wed, 10 Jun 2026 02:02:43 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Wed, 10 Jun 2026 02:02:43 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="E ışını rezist ısıtıcı fırın"></p> <p>Litografi katında, e-beam rezist pişirme sırasında 0.3°C’lik bir sapma kontrol edilen deseni çizgi genişliği kaosuna dönüştürebilir. Bu sapmayı başlamadan durdurmak için e-beam rezist pişirme ısıtıcımızı tasarladık; çünkü verim nanometrelerle ölçülür, görüşlerle değil.</p> <p><strong>Motor kaputu altında önemli olanlar</strong><br> Kısa dalga kızılötesi <a href="https://goldisgood.com">elemanlar</a> ile kuvars bazlı bir termal yol kullanıyoruz, böylece yanıt hızlı olur ve durağan hal sıcaklığı sabit kalır. Pişirme yüzeyinde wafer seviyesi homojenlik ±0.1°C aralığında sağlanır ve tekrarlanabilirlik <a href="https://o-yate.net">partiden</a> partiye ±0.05°C’dir. Sıcaklık artışları tasarım gereği tekrarlanabilirdir, böylece yumuşak pişirme ve sert pişirme profilleri, kuyruğun ardışık olması durumunda bile değişmez. Platform, parçacık oluş<a href="https://o-yate.com">umunu</a> minimumda tutmak için malzeme ve yüzey seçimiyle sınıf 1–100 temiz oda kullanımı için üretildi. Uygulamada bu, kontaminasyon kaynaklı reddi ve temizlik döngüleri arasındaki duruş sürelerini azaltır.</p>