http://warm-ir-factory.com/tr/tags/fab-harika/ Recent content in Fab Harika on The Warm IR Heating Factory Hugo tr Thu, 18 Jun 2026 01:24:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:24:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Fab lambası için kuvars cam kalkanı"></p> <p>Litografide, fotoresistin pişirilmesi sırasında lambanın sıcaklığının sadece 0,5°C kadar değişmesi bile, çizgi genişliklerinin standartların dışına çıkmasına neden olabilir. Bu durumda bu yongalar denetimde elenir. Bu sorunu ortadan kaldırmak için fabrika lambaları için kuvars camından yapılmış <a href="https://o-yate.net">koruyucular</a> geliştirdik.</p> <p><strong>Önemli olan şeyler</strong><br> Kısa ve orta dalga boylarındaki kızılötesi ışıkları stabil bir şekilde iletebilen ve sıcaklık değişimlerinde düşük termal genleşme gösteren kuvars camı kullanıyoruz. Böylece yonga yüzeyindeki termal düzenlilik ±0,1°C aralığında korunur; böylece yumuşak ve sert pişirme işlemleri tekrarlanabilir hale gelir. Klasi 1–100 temiz oda koşullarında, malzeme ve işlemler sayesinde hiçbir parça oluşmaz; bu da kusur sayısını azaltır. Bağlantı noktaları ve kaplama yapısı ise 24/7 çalışırken ışık sızıntısı veya sıcak nokta oluşmasını engeller.</p> http://warm-ir-factory.com/tr/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Gelişmiş yonga üretim tesisleri için bölgesel ısıtma"></p> <p>Litografide sıcaklık, sadece bir parametre değildir; aslında işlemin kendisidir. Yumuşak pişirme sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik bile fotoresistin kalınlığını etkiler. Biraz olsun değişen sıcaklık değerleri ise kritik boyut kontrolünü bozar. Wafler sürekli hareket halindedir, fırınlar ise durmaz; bu yüzden termal denge çok hassastır.</p> <p><strong>Arka planda önemli olan şeyler</strong><br> Bağımsız termal bölgeler oluşturarak ısıtma sistemleri geliştirdik. Amacımız, waferin büyük kısmını etkilemeden sadece sorunlu bölgeleri hedef almaktır. Kısa dalga boylu halojen elemanlar hızlı tepki verir ve kapalı döngü kontrolü sayesinde waferin tüm yüzeyinde sıcaklık değerleri ±0,1°C civarında tutulur.</p>