http://warm-ir-factory.com/tr/tags/ileri-d%C3%BCzey/ Recent content in İleri Düzey on The Warm IR Heating Factory Hugo tr Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Gelişmiş yonga üretim tesisleri için bölgesel ısıtma"></p> <p>Litografide sıcaklık, sadece bir parametre değildir; aslında işlemin kendisidir. Yumuşak pişirme sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik bile fotoresistin kalınlığını etkiler. Biraz olsun değişen sıcaklık değerleri ise kritik boyut kontrolünü bozar. Wafler sürekli hareket halindedir, fırınlar ise durmaz; bu yüzden termal denge çok hassastır.</p> <p><strong>Arka planda önemli olan şeyler</strong><br> Bağımsız termal bölgeler oluşturarak ısıtma sistemleri geliştirdik. Amacımız, waferin büyük kısmını etkilemeden sadece sorunlu bölgeleri hedef almaktır. Kısa dalga boylu halojen elemanlar hızlı tepki verir ve kapalı döngü kontrolü sayesinde waferin tüm yüzeyinde sıcaklık değerleri ±0,1°C civarında tutulur.</p>