http://warm-ir-factory.com/tr/tags/mod%C3%BCler/ Recent content in Modüler on The Warm IR Heating Factory Hugo tr Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Modüler kızılötesi ısıtma dizisi"></p> <p>Litografi işlemlerinde, yumuşak fırınlama ve sert fırınlama sadece “adımlar” değildir; bunlar uymak zorunda olduğunuz kurallardır. Fotoresistin sıcaklığında 2°C’lik bir değişiklik bile kritik boyutları nanometrelerce değiştirebilir. Isıtma sırasında ortaya çıkan tek bir parçacık bile 300 mm’lik waferin bozulmasına neden olabilir. Bu gerçekleri göz önünde bulundurarak modüler kızılötesi ısıtma sistemleri geliştirdik.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong><br> Modüler bir yapıda çalışan yakın kızılötesi (NIR) ışık kaynakları sayesinde, güç yoğunluğu belirli bölgelerde kontrol edilebiliyor. Böylece işlem süreci boyunca waferin sıcaklığı ±0,1°C aralığında tutulabiliyor. Bu değerler termokupllarla ölçülüyor ve emisiviteye göre düzeltilmiş verilerle karşılaştırılıyor. Tepki süresi saniyenin altında olduğundan, formüller değiştirildiğinde termal aşırılıklar ortadan kalkıyor. Donanım, 1. sınıf temiz oda koşullarına uygun olarak tasarlanmıştır; kapalı yapı, düşük gaz salınımı olan malzemeler ve dışarıya açık elemanlar yoktur. Parçacık üretimi minimize edilmiş olup, kapalı döngü kontrolü ve sabit ışık kaynağı geometrisi sayesinde tekrarlanabilirlik sağlanmaktadır.</p>