http://warm-ir-factory.com/tr/tags/peb/ Recent content in (PEB) on The Warm IR Heating Factory Hugo tr Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Fri, 26 Jun 2026 01:43:45 +0800 http://warm-ir-factory.com/tr/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Maruziyet sonrası pişirme ısıtıcısı (PEB)"></p> <p>Üretim alanında, maruziyet işleminden sonraki ısıl işlemler, kritik boyut kontrolünün sağlanıp sağlanamadığını belirler. Wafer üzerindeki yarım derecelik bir sapma bile, çizgi genişliğini reddedilebilir seviyelere taşıyabilir ve bu da saatler süren maruziyet ve aşındırma işlemlerinin boşa gitmesine neden olur. İşte bu yüzden PEB ısıtıcılarımız, her vardiya boyunca termal dengeyi koruyacak şekilde tasarlanmıştır.</p> <p><strong>Önemli olan hususlar</strong><br> Kuvars-halogen kaynağına sahip kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar kullanılır; bu sayede enerji hızlı ve düzenli bir şekilde fotorezist tabakasına aktarılır. Isıl işlem bölgesinde milimetre cinsinden bir düzgünlük sağlanır ve waferin sıcaklık stabilitesi ±0,1°C civarındadır. Tekrarlanabilirlik ise kontrol döngüsü içinde garanti altına alınır: kapalı döngü geri besleme, yüksek çözünürlüklü sensörler ve aşırı ısınmayı önleyen bir yapı kullanılır. Bu sistemler Class 1–100 temiz oda koşullarında çalışır ve ısıl işlem sırasında hiçbir parçacık üretmez; böylece kusur sayısı istenen seviyede kalır – yani neredeyse sıfır.</p>