Sensör on The Warm IR Heating Factory

Wafer için hassas IR sensörü

Sat, 25 Jul 2026 02:55:50 +0800

Yarı işleme aşamasında havayı ısıtmak için zaman kaybetmeyi bırakın.
Dürüst olalım: Silikon wafer’leri ısıtmak için odanın içinde sıcak hava dolaştırmak oldukça yavaş bir yöntemdir. Aslında havanın işi halletmesini bekliyorsunuz ve yüksek kapasiteli üretim tesislerinde bu gecikme büyük bir sorun haline gelir. Bu durum, diğer tüm süreçleri de yavaşlatır.

Daha iyi bir yöntem bulduk. Hava dolaşımı yerine, hassas IR sensörleri ve vericiler kullanarak ısıyı radyasyon yoluyla iletiyoruz.

Neden IR, konveksiyondan daha iyidir?
Konveksiyonun işleyebilmesi için bir ortama ihtiyaç vardır. IR ise böyle bir ortama ihtiyaç duymaz. IR vericileri fotonları doğrudan wafer’e gönderir. Böylece odanın tamamını ısıtmak için zaman kaybetmek zorunda kalmazsınız. Bu işlem neredeyse anlık gerçekleşir.

MEMS sensör yonga kurutma ısıtıcısı

Sat, 11 Jul 2026 05:28:20 +0800

Her şeyin kontrolden çıkmasını önlemek: MEMS levhalarını güvenli bir şekilde kurutmak
Gerçek şu ki, kimyasal temizlemeden sonra MEMS sensör levhalarını kurutmak, adeta ateşle oynamak gibidir. Isıtıcı elemanlar, açıkçası patlayıcı olan çözücü buharlarının hemen yanında yer alır. Bu tür bir ortama sıradan bir kızılötesi lamba yerleştirip en iyisini ummak mümkün değildir.

İşte bu yüzden kaplamaya odaklanıyoruz. Aslında lambanın etrafına bir “kale” inşa ediyoruz; böylece bir felaketin meydana gelmesini engelliyoruz.

Sızıntıları önlemek
Bu zararlı gazların elektrik terminallerine ulaşmasını engellemek için kızılötesi lambayı özel cam veya kimyasallara dayanıklı kuvars malzemeden yapılmış bir kılıfa yerleştiriyoruz. Bu basit bir fiziksel bariyerdir. Ardından uçları seramik-metal contalar veya yüksek sıcaklıkta kullanılabilen epoksi maddeleriyle kapatıyoruz. Neden bu kadar zahmete giriyoruz? Çünkü eğer contalar hasar görürse, buharlar enerjili pinlere ulaşır. Bir kıvılcım yeterli olur ve işler berbat olur. Zamanımızın çoğunu bu sızıntı yollarını kapalı tutmak için harcıyoruz.

Akıllı sensör paketleme kızılötesi

Fri, 10 Jul 2026 01:58:26 +0800

Neden sensör paketleme işlemlerinde konveksiyon fırınlar yerine kızılötesi ısıtıcıları kullanıyoruz?
Yarı iletken üretim sektöründeki herkes şu an karbonsuzluk konusunu konuşuyor. Ancak dürüst olmak gerekirse, mevcut işleyiş şekillerini değiştirmeden bunu gerçekleştirmek oldukça zor. Bizim için en büyük avantaj, eski konveksiyon fırınlarını bırakıp akıllı sensör paketlemesi için kızılötesi ısıtıcıları kullanmamız oldu.

Devasa bir metal kutuyu ve içindeki havayı ısıtmak yerine, kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Bu farklı bir yaklaşım; ısıyı doğrudan yüzeye iletiyoruz.

Bu daha akıllıca bir yöntem.
Standart konveksiyon sistemleri çok fazla enerji tüketir. Zamanlarının yarısını kutunun duvarlarını ve parçanın etrafındaki havayı ısıtmak için harcarlar. Kızılötesi ısıtıcılar ise bu mantığı tersine çeviriyor. Paketleme malzemelerinin emmek istediği dalga boylarını seçiyoruz; böylece enerji tam da ihtiyaç duyulan yere gidiyor.

Hidrojen sensörü üretimi için ısıtıcı

Thu, 09 Jul 2026 14:37:30 +0800

Giriş
Şöyle bir düşünün: Havası yanıcı temizlik kimyasallarıyla dolu olan bir üretim alanı… Standart bir ısıtıcının burada kullanılması oldukça riskli olur. İşte bu sorunu çözmek için kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik. Tüm yapı sıkı bir şekilde kapalıdır; böylece ısı kaynağı atmosferden tamamen ayrılır. Bu sadece bir ısıtıcı değil; aynı zamanda güvenliği Öncelikli tutan bir cihazdır. Bu sayede herhangi bir yanma tehlikesi engellenirken, sensör üretimi için gereken doğru ısı da sağlanır.

Teknik Detaylar
Bu ısıtıcılar, küçük bir alana büyük miktarda enerji sığdırmaya odaklanmıştır. 400V voltajında çalışır ve 300mm’lik bir tüp içinde 2500W güç üretir. Bu da, substratların ve odaların hızla istenen sıcaklığa ulaşmasını sağlar; aynı zamanda devrenin aşırı yüklenmesini veya kesicilerin devre dışı kalmasını önler. 400V değeri ise standart endüstriyel elektrik sistemleriyle tam uyumludur; dolayısıyla ekstra transformatörlerle uğraşmanıza gerek kalmaz.

Wafer aracı için sıcaklık sensörü

Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800

Hat üzerinde, wafer halojen lambaların altında oturuyor, fotoresist profilini belirleyen o yumuşak pişirme işlemini bekliyor. Bu pişirme penceresindeki 2°C’lik bir sapma, kritik boyutu birkaç nanometre kaydırabilir ve parti, sadece geliştirme sonrası ortaya çıkan bir kusurla track’den çıkar. Alet önceden uyarı vermez. Sadece bir termal sonuç sağlar ve süreç bunun bedelini öder.
Wafer aletleri için sıcaklık sensörleri üretiyoruz çünkü litografide termal bütçe isteğe bağlı değildir—verim ile hurda arasındaki çizgidir. Sensör saparsa, kontrolör yanlış bir setpoint’i takip eder. Tepki gecikirse, wafer reçete tarafından hiç talep edilmeyen geçici bir duruma maruz kalır. Hassasiyet, tekrarlanabilirlik ve temiz oda uyumluluğu burada pazarlama terimi değildir. Bunlar, spesifikasyon içinde çalışmak ile parmakları çaprazlayarak çalışmak arasındaki farktır.