http://warm-ir-factory.com/uk/tags/%D1%80%D0%BE%D0%B7%D1%88%D0%B8%D1%80%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Розширений on The Warm IR Heating Factory Hugo uk Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Зоноване опалення для сучасних заводів з виробництва пластин"></p> <p>На поверхні для літографії температура є не просто ще одним параметром – вона є самою суттю процесу. Зміна температури на 2°C під час процедури „м’якого випалювання“ призводить до зміни товщини фотополімеру; навіть незначна зміна температури під час процедури „жорсткого випалювання“ може порушити стандарти контролю критичних розмірів. Пластини постійно рухаються, печі не зупиняються, а тепловий баланс вимагає максимальної точності.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми створили систему зонованого нагріву, яка складається з окремих термічних сегментів, кожен з яких контролюється дуже точно. Мета полягає у тому, щоб ефективно контролювати температуру в окремих зонах, не допускаючи при цьому значних змін температури на всій поверхні пластини. Елементи на основі короткохвильового галогену забезпечують швидку реакцію, а система замкнутого контролю дозволяє підтримувати однорідність температури на рівні ±0,1°C протягом усього процесу випалювання.</p>