http://warm-ir-factory.com/uk/tags/baking/ Recent content in Baking on The Warm IR Heating Factory Hugo uk Wed, 10 Jun 2026 02:02:43 +0800 http://warm-ir-factory.com/uk/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Wed, 10 Jun 2026 02:02:43 +0800 http://warm-ir-factory.com/uk/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Пічка для запікання електронно променевого фоторезисту"></p> <p>На площі літорафії зміщення на 0,3°C під час випікання e-beam резисту може перетворити контрольований візерунок на хаос зі зміною ширини ліній. Ми розробили нагрівач для випікання e-beam резисту, щоб зупинити це зміщення до його появи — через те, що вихід продукції вимірюється нанометрами, а не думками.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong></p> <p>Ми використовуємо короткохвильові інфрачервоні елементи з кварцовим тепловим шляхом, що забезпечує швидку реакцію і стабільну температуру в режимі усталеного стану. Рівномірність по поверхні випікання на рівні пластини витримується в межах ±0,1°C, а повторюваність між партіями — ±0,05°C. Температурні режими підйому (ramp) відтворюються за конструкцією, тому профілі soft bake та hard bake не змінюються навіть при безперервному навантаженні черги. Платформа розроблена для використання у чистих приміщеннях класу 1–100 із добором матеріалів і поверхонь для мінімізації утворення частинок. На практиці це означає меншу кількість відбраковок через забруднення і збільшений час роботи між циклами очищення.</p>