Sensor on The Warm IR Heating Factory

Точний інфрачервоний сенсор для пластин

Sat, 25 Jul 2026 02:55:50 +0800

Перестаньте марнувати час на нагрівання повітря під час напівфінішної обробки
Будемо чесні: нагрівання кремнієвих пластин за допомогою гарячого повітря – це дуже повільний процес. Фактично ви просто чекаєте, поки повітря виконає свою роботу. У великих заводах така затримка є серйозною перешкодою. Це значна втрата часу, яка стримує всі інші процеси.

Ми знайшли кращий спосіб. Замість циркуляції повітря ми використовуємо точні інфрачервоні датчики та емітери для передачі тепла через випромінювання.

Чому інфрачервоне випромінювання краще за конвекцію
Конвекція потребує середовища для своєї роботи. Інфрачервоне випромінювання не потребує такого середовища. Емітери інфрачервоного випромінювання посилають фотони прямо на пластину. Не потрібно марнувати час на нагрівання всього приміщення. Це відбувається майже миттєво.

Нагрівач для сушіння пластин датчиків MEMS

Sat, 11 Jul 2026 05:28:20 +0800

Як уникнути негативних наслідків: безпечне сушіння пластин MEMS
Реальність така: сушіння пластин датчиків MEMS після хімічної чистки схоже на гру з вогнем. Є елементи нагріву, які знаходяться прямо поруч із парами розчинників – які, щоб сказати прямо, є вибухонебезпечними. Неможливо просто поставити туди звичайну інфрачервону лампу та сподіватися на краще.

Саме тому ми зосереджуємося на енкапсулюванні. Ми фактично створюємо „фортецю“ навколо лампи, щоб вона не могла спричинити катастрофу.

Запобігання витокам
Щоб захистити електричні контакти від цих шкідливих газів, ми розміщуємо інфрачервону лампу в корпус, виготовлений з спеціалізованого скла чи кварцу, стійкого до хімічних речовин. Це своєрідна фізична перешкода. Потім ми герметизуємо кінці корпусу за допомогою керамічних або епоксидних матеріалів. Чому потрібно докладати стільки зусиль? Тому що якщо герметизація завдасть проблем, пари потраплять на електричні контакти. Одна іскра – і все може закінчитися погано. Ми приділяємо багато уваги цим витокам, щоб вони залишалися закритими.

Розумна упаковка датчиків інфрачервоного випромінювання

Fri, 10 Jul 2026 01:58:26 +0800

Чому ми замінюємо конвекційні печі на інфрачервоні для упаковки сенсорів
У всій індустрії напівпровідників зараз активно говорять про досягнення карбонної нейтральності. Але будьмо чесні: це складно досягти без змін у способах роботи обладнання. Для нас найбільшим досягненням стало відмова від старих конвекційних печей та перехід на використання інфрачервоного опалення для упаковки сенсорів.

Замість нагрівання всієї металевої коробки та повітря всередині неї ми використовуємо лампи з короткими хвилями інфрачервоного світла. Це інший підхід – тепло надходить прямо на сам матеріал, який потрібно обробити.

Нагрівач для виготовлення датчика водню

Thu, 09 Jul 2026 14:37:30 +0800

Вступ
Уявіть собі це: процесуальну зону, де повітря наповнене легкозаймистими хімічними речовинами, які використовуються для чищення. Це саме те місце, де стандартний обігрівач може стати причиною проблем. Ми створили інфрачервоні обігрівачі саме для вирішення цієї проблеми. Вся конструкція є герметичною, що дозволяє тримати джерело тепла повністю окремим від навколишнього середовища. Це не просто обігрівач – це пристрій, призначений насамперед для забезпечення безпеки, який запобігає будь-якій можливості загоряння, водночас забезпечуючи необхідну температуру для виробництва датчиків.

Технічні характеристики
Ці обігрівачі передбачені для розміщення в компактних приміщеннях. Вони працюють під напругою 400 В та здатні видавати 2500 Вт потужності, при цьому все це вміщується в корпус довжиною 300 мм. Це означає, що ми маємо дуже концентроване джерело тепла, яке може швидко підігріти поверхні до необхідної температури – без необхідності використання додаткових трансформаторів.

Датчик температури для інструменту для пластин

Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800

На лінії пластина розміщується під галогеновими лампами, очікуючи на м’який випік, який задає профіль фоторезисту. Відхилення на 2°C у вікні випікання може змістити критичний розмір на кілька нанометрів, і партія залишає трек із дефектом, який виявляється лише після проявлення. Інструмент не попередить про це заздалегідь. Він просто видасть тепловий результат, а процес за це розплачується.
Ми створюємо температурні сенсори для інструментів обробки пластин, бо тепловий бюджет у літографії не є вибірковим — це межа між виходом придатної продукції та браком. Якщо сенсор дрейфує, контролер переслідує хибну задану точку. Якщо реакція запізнюється, пластина зазнає транзієнту, який не передбачений рецептом. Точність, відтворюваність і сумісність з чистими приміщеннями тут не є модними словами. Це різниця між роботою в межах специфікацій і роботою з перехрещеними пальцями.