http://warm-ir-factory.com/uk/tags/wafer/ Recent content in Wafer on The Warm IR Heating Factory Hugo uk Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/uk/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Sun, 31 May 2026 02:46:31 +0800 http://warm-ir-factory.com/uk/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Датчик температури для інструменту для пластин"></p> <p>На лінії пластина розміщується під галогеновими лампами, очікуючи на м’який випік, який задає профіль фоторезисту. Відхилення на 2°C у вікні випікання може змістити критичний розмір на кілька нанометрів, і партія залишає трек із дефектом, який виявляється лише після проявлення. Інструмент не попередить про це заздалегідь. Він просто видасть тепловий результат, а процес за це розплачується.<br> Ми створюємо температурні сенсори для інструментів обробки пластин, бо тепловий бюджет у літографії не є вибірковим — це межа між виходом придатної продукції та браком. Якщо сенсор дрейфує, контролер переслідує хибну задану точку. Якщо реакція запізнюється, пластина зазнає транзієнту, який не передбачений рецептом. Точність, відтворюваність і сумісність з чистими приміщеннями тут не є модними словами. Це різниця між роботою в межах специфікацій і роботою з перехрещеними пальцями.</p>