http://warm-ir-factory.com/zh/tags/%E6%95%B0%E7%BB%84/ Recent content in 数组 on The Warm IR Heating Factory Hugo zh Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/modular-infrared-heating-array/ Mon, 22 Jun 2026 19:27:16 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/modular-infrared-heating-array/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="模块化红外加热阵列"></p> <p>在光刻工艺中，软烘烤和硬烘烤并非单纯的“步骤”，而是必须严格遵守的规范。光阻温度只要偏差2摄氏度，其关键尺寸就可能会发生纳米级的变化。而在加热过程中产生的哪怕一颗微小的颗粒，都可能毁掉一块300毫米厚的晶圆。因此，我们设计了模块化的红外加热阵列，<a href="https://o-yate.com">以适应这样</a>的实际需求。</p>