http://warm-ir-factory.com/zh/tags/%E6%B9%BF%E6%B0%94/ Recent content in 湿气 on The Warm IR Heating Factory Hugo zh Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:25:15 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="晶圆除湿加热灯"></p> <p>在光刻过程中，晶圆表面的光阻或天然氧化物中的水分并非什么无关紧要的问题。它会干扰热处理过程，影响曝光剂量，还会导致关键尺寸无法保持稳定。如果加<a href="https://o-yate.com">热灯</a>无法维持所需的温度和清洁度，那么这种不稳定性就会一直存在，甚至会影响到晶圆的封装过程。</p> <p><strong>关键在于什么？</strong> 我们设计的这种用于去除晶圆表面水分的加热灯，采用了高纯度石英外壳包裹的短波红外卤素元件。这样的设计能够实现快速、局部的加热效果，同时还能精确控制光谱特性。照明区域内的温度均匀性可保持在±0.1°C范围内，而在数千次加热循环后，其重复性仍能保持在±0.5°C<a href="https://o-yate.net">以内</a>。该系统可在1-100级洁净室中运行，而且通过实时监测可以确保不会产生任何颗粒物。在连续运行5,000小时后，其输出功率依然稳定，强度变化小于5%。</p>