http://warm-ir-factory.com/zh/tags/%E7%82%89%E5%AD%90/ Recent content in 炉子 on The Warm IR Heating Factory Hugo zh Sat, 27 Jun 2026 01:45:22 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ Sat, 27 Jun 2026 01:45:22 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="LPCVD炉加热元件"></p> <p>在制造现场，LPCVD炉中的温度波动并不会导致设备突然故障。其表现形式是沉积层的厚度分布出现偏差，光刻后的CD值也会发生变化，此外，还会有一些废品产生，但这些问题往往不会立刻被察觉。我们设计的加热元件能够将温度控制在工艺允许的范围内，避免超出该范围。</p>