http://warm-ir-factory.com/zh/tags/%E9%AB%98%E7%BA%A7/ Recent content in 高级 on The Warm IR Heating Factory Hugo zh Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 17 Jun 2026 11:48:03 +0800 http://warm-ir-factory.com/zh/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://warm-ir-factory.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="先进晶圆制造厂的区域式加热系统"></p> <p>在光刻工序中，温度并非一个单纯的参数——它本身就是整个工艺过<a href="https://o-yate.net">程的关键所</a>在。在软烘烤过程中，即使温度变化2°C，也会导致光刻胶的厚度发生变化；而硬烘烤时，哪怕只是微小的温度波动，也会让关键尺寸的控制变得无法实现。晶圆一直在移动，炉子则持续运转，因此对温度控制的要求极其严格。</p> <h3 id="关键在于如何精确控制温度">关键在于如何精确控制温度</h3> <p>我们采用了分区加热方式，<a href="https://o-yate.com">对各个区域</a>进行独立控制。这样做的目的是确保热<a href="https://goldisgood.com">点得到有效</a>处理，同时避免晶圆其他部分的温度受到影响。短波卤素元件能够快速响应温度变化，而闭环控制系统则能将晶圆表面的温度均匀性控制在±0.1°C以内。</p> <p>该系统可在1-100级洁净室中运行，其设计旨在避免产生颗粒物：低挥发性材料、密封的石英/陶瓷接口以及层流式气流设计，都能确保在长时间烘烤过程中依然保持低颗粒物浓度。重复性是此系统的核心优势——无论进行多少次软烘烤或硬烘烤，温度曲线都保持一致。</p>