Přestaňte nechat selhání lampy zničit vaše série waferů
Zde je ten noční můra scénář: provádíte proces zasychání pomocí infračerveného záření při vysoké zátěži a kvartová trubice praskne. Není to jen krátká doba výpadku – sklo a wolframové vlákna dopadají přímo na vaše wafery. Během okamžiku jsou všechny vaše wafery zničeny.
Je to chaos. Ale je to zcela předcházetelné.
Řešíme to tím, že přidáváme speciální reflektor. Můžete si ho představit jako fyzický ochranný štít, který stojí mezi lampou a vašimi wafery.
Jak to vlastně funguje
Většina lidí si myslí, že reflektory slouží pouze k odrážení infračerveného záření zpět ke substrátu. Samozřejmě, to také dělají. Ale my jsme tento reflektor navrhli tak, aby obklopoval celou lampu.
Pokud trubice praskne, reflektor zachytí úlomky. Zabraňuje tak tomu, aby se částice dostaly do procesní komory. Místo katastrofy, která zkazí váš den, máte prostě jednoduché řešení – žádné úlomky skla, žádné zničené wafery.
Lepší teplo, méně napětí
Používáme hliník vysoké čistoty s speciálním povlakem pro lepší odraz krátkovlnného infračerveného záření.
Skvělé na tom je, že to zvyšuje hustotu tepla na povrchu waferu. Protože je teplo lépe soustředěno, můžete snížit výkon lampy a přesto dosáhnout stejných výsledků. Když lampa nemusí být tak horká, je menší zátěž na kvartovou trubici. To znamená, že lampa má mnohem menší šanci prasknout.
Upřímná ústupků
Víte, nic není dokonalé. Přidání fyzické vrstvy mezi zdroj světla a cíl trochu mění vzorec záření ve srovnání s otevřenou lampou. Budete muset strávit trochu času kalibrací ohniskové vzdálenosti, abyste zajistili rovnoměrné zahřívání celého waferu. Také sledujte chladicí ventilátory – pokud nejsou dostatečně silné, teplo se může hromadit uvnitř obalu, což zkrátí životnost lampy.
Ale jakmile to nastavíte správně? Je to jednoduché.
Vyrábíme je pro nepřetržitou produkcí. Spojíte je do sítě, nastavíte PID regulátory a necháte reflektor, aby se postaral o rizika. Tak se z katastrofického selhání stane jednoduchá výměna lampy.