Warum goldbeschichtete Infrarotlampen für Ihre Halbleiterwafer wirklich wichtig sind
Beim Bearbeiten von Halbleiterwafern spielt die Temperatur nur eine untergeordnete Rolle. Das eigentliche Geheimnis liegt in der Flussdichte des Lichts – also darin, wie viel Wärme tatsächlich auf die Oberfläche des Wafers trifft und wie viel Energie einfach im Gerät verloren geht.
Deshalb sind goldbeschichtete Infrarotlampen so nützlich: Sie verhindern, dass die Energie in das Gehäuse des Geräts abfließt, und leiten sie stattdessen genau dorthin, wo sie benötigt wird – nämlich auf den Wafer.
Der Vorteil des Goldes
Stellen Sie sich eine herkömmliche Quarzlampe vor: Sie strahlt Wärme in alle Richtungen aus – insgesamt 360 Grad. In einem Waferbearbeitungsgerät bedeutet das, dass die Hälfte der Energie sinnlos in die Luft sowie an die Wände abgegeben wird.
Wir lösen dieses Problem, indem wir eine dünne Goldschicht auf die Rückseite des Quarzkörpers auftragen. Diese fungiert wie ein hochwertiger Spiegel und reflektiert über 98 Prozent der Infrarotstrahlung in die gewünschte Richtung.
Das Ergebnis? Die Intensität der Wärme auf dem Wafer verdoppelt sich – ohne dass mehr Energie aus der Stromversorgung benötigt wird. Einfach gesagt: Sie erhalten mehr Watt pro Quadratzentimeter auf dem Wafer.
Ein Hinweis bezüglich der Hitze
Es gibt jedoch einen Haken: Hochleistungs Lampen werden extrem heiß. Da das Gold all diese Energie konzentriert, muss auch der Quarztubus stark belastet werden. Wenn Ihr Kühlsystem kaum noch mit der zusätzlichen Wärme umgehen kann, kann das problematisch sein. Sie möchten schließlich nicht mit defekten Glühfäden oder verformten Komponenten konfrontiert werden, weil die Luftzirkulation nicht ausreicht.
Bevor Sie diese Lampen einsetzen, überprüfen Sie unbedingt die Anforderungen an die Luftzirkulation. Das spart Ihnen später viele Probleme.
Mehr Ausbeute aus Ihrem Prozess
Solche Lampen werden hauptsächlich zur Aushärtung sowie zum schnellen thermischen Bearbeiten verwendet. Ziel ist es, die Temperatur schnell anzuheben, damit es zu keiner unerwünschten Diffusion der Dopantien kommt.
Durch die Goldreflektoren können Sie die gewünschten Temperaturen viel schneller erreichen. Zudem kann die Größe des Heizelements verringert werden, während die Leistung gleich bleibt.
Wenn Ihre Spannung und Leistungskapazität zu Ihrer aktuellen Stromversorgung passen, sind diese Lampen praktisch ein Ersatz für die vorhandenen Lampen. Es handelt sich dabei um eine hervorragende Möglichkeit, die Produktivität zu steigern, ohne die gesamte Wärmebehälteranlage aufrüsten zu müssen.